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wet Cleaning ( 습식세정 ) 의 종류

저작시기 2013.05 |등록일 2015.12.07 워드파일MS 워드 (doc) | 3페이지 | 가격 500원

목차

1. 습식 화학 세정

2. 습식 세정의 종류
1) SC-1 Cleaning
2) SC-2 Cleaning
3) Piranha Cleaning

본문내용

습식 화학 세정
모든 제품 표면에는 dust, 오일, 미생물에 의해 발생된 유지등의 불순물이 오염되어 있으며, 유기오염원들은 다양한 종류로부터 발생된다. 제품 생산에 있어 가장 중요한 부분이 표면의 파티클의 오염제어와 세정공정이다. 제품의 생산성 향상 및 수율을 개선하기 위해서는 이러한 불순물의 제거는 반드시 해주어야 하는데 이러한 불순물을 제거하는 공정이 바로 세정이며, 세정 공정의 근본 목적은 불순물 제거인 것이다. 여러 가지 원인의 오염 물질들은 제품의 불량을 야기시키거나, 도막 처리시 접착성을 저해시키는 요소이다.

<중 략>

습식 세정의 종류
SC-1 Cleaning
습식세정의 종류와 세정에 필요한 화학물질은 표 1-1에 나타내어진 것처럼, SC-1 세정은 미립자와 유기물질을 제거하는 능력이 있는 알칼리성 용액이다.

<표 1-1 습식 세정 화학 물질>

암모니아(NH4OH), 과산화수소(H2O2) 그리고 물 (H2O2)을 약 1:1:5의 비율로 혼합하여 75~90°C 정도의 온도에서 파티클과 유기물을 제거하기 위한 세정방법이다.

참고 자료

없음
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