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Mass Flow Controller

저작시기 2014.05 |등록일 2014.05.31 한글파일한컴오피스 (hwp) | 3페이지 | 가격 2,600원

목차

1 Overview
2 작동 원리
3 이용 분야
4 MFC의 구성 요소
5 MFC 제조 기업 목록

본문내용

모든 분야에서 유체의 유량을 측정할 때에는 질량유량이 중요함. 때문에 체적 유량계로 기체의 질량 유량을 측정하기 위해서는 밀도를 알아야 함. 그런데 밀도를 직접적으로 측정할 수 있는 방법이 거의 없기 때문에 온도와 압력을 측정한 후 상태방정식 등을 이용하여 간접적으로 밀도를 계산. 이와 같이 현재까지 사용되는 기계식 유량계의 대부분은 기체의 질량유량을 측정하기 위하여 온도와 압력을 별도로 측정해야만 하는 번거로움이 있었음, 또한, 기계식 유량계의 대부분은 측정범위가 작아 폭넓은 범위의 질량유량을 측정하기 위해서는 여러 대를 설치해야만 하는 경우도 발생하곤 했음.

<중 략>

현대의 산업은 점점 고도화, 다양화되어 왔으며 이와 더불어 유체 특히 가스의 흐름을 측정하는데 있어서도 점점 다양한 공정에서 요구되고 또한 고 정밀도의 측정이 요구되고 있음. 일반적으로 기체 측정에 있어서, 유체의 체적유량 측정값만으로 충분한 산업공정이 있는가 하면 다양한 산업분야에서 질량유량의 측정이 요구되어 지기도 함. 현재 질량유량으로 가스나 기체의 측정은 아래의 산업분야 등에서 효율적으로 응용되어 지고 있음.

참고 자료

없음
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