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[실험계획법-KU] Process Case SAS분석(결과보고서)

저작시기 2013.04 |등록일 2013.04.20 | 최종수정일 2016.03.29 워드파일MS 워드 (docx) | 12페이지 | 가격 3,900원

목차

1. Back ground
2. Relevant data
3. Sampling Method
4. Follow-Up
5. Explore
6. INTERACTION PLOT
7. PARETO PLOT
8. CONCLUSION

본문내용

4. Follow-Up
1) 준비단계: Solution → Analysis → Design of Experiments
2) SAS 9.0 File → Create New Design → Two-Level
3) Define Variable → data 입력
4) Ok → Select Design → 확인
5) Edit Responses & Add Response

<중 략>

8. CONCLUSION
SAS를 통한 분석결과, Sensitivity와 Etch Rate가 망대이고, Etch Rate Non-Uniformity가 망소인 점과,
각각의 Main Effect 분석 및 Interation분석결과,
Power는 경제성을 고려하지 않는다면 무조건 높은 편이 좋고,
Bulk gas flow도 경제성을 고려하지 않는다면 무조건 높은 편이 좋다.

참고 자료

없음
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