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전자 주사 현미경 구조

저작시기 2011.10 |등록일 2013.03.29 한글파일한글 (hwp) | 3페이지 | 가격 1,500원

목차

1)전자선과 시료와의 관계
2)배율 결정
3)진공계
4)전자 광학계
5)전자 회로계

본문내용

1)전자선과 시료와의 관계

2)배율 결정
주사전자현미경은 전자선 탐침을 만들어 시료를 면상으로 주사하여 시료에서 얻어진 신호를 CRT화면에 재생하는 것이므로 그 배율은 시료의 주사면 을 계속 줄임으로써 CRT에 확대된 상을 얻을 수 있다. 이것은 시편의 특성과 전자선탐침의 직경 등에 의해 영향을 받음으로 보통의 주사전자 현미경에서는 삼십만 배 정도가 최고 배율이 된다.

3)진공계
유확산 펌프는 원통형 구조의 경통에 적당량의 오일을 충진하고 밑면에 히터를 장착한다. 내부에는 제트침니를 두어 가열된 오일증기가 이 침니 상의 노즐을 고속으로 뿜어져 나오게 하고 경통주위에는 냉각수 라인을 설치하여 오일증기를 식혀 오일로 환원 시킨다. 한편 밑면에 배기구가 있어 유회전 펌프와 연결한다. 이 유확산 펌프의 동작은 먼저 유회선 펌프로 10토르 이하로 내부진공을 뽑고 오일을 충분히 가열하여 침니 내부에서 압축된 오일증기는 노즐을 통하여 고속으로 벽면으로 이동하므로 그 주변압력이 떨어져 결국 펌프의 경통내의 압력차이로 경통 내 기체 입자를 빨아들이므로 진공펌프 역할을 한다. 이 오일증기는 냉각수에 의해 오일로 응결되어 밑으로 떨어지고 다시 증기가 되는 순환운동을 하게 된다.

<중 략>

플라즈마의 원리 & 스퍼터 코팅의 효과
-플라즈마의 원리
플라즈마를 제 4원소라고 한다. 고체 액체 기체 다음으로 플라즈마인데, 제3원소인 고체 기체 액체는 전부 원자의 모임인데 이는 상온 대기압에서 원자의 상태로 안정하게 뭉쳐있다
그 뭉침이 가장 약한 게 기체, 조금 더 가깝게 있으면 액체, 그리고 조밀하게 붙어있으면 고체라고 한다.
그렇다면 플라즈마란 기체 상태에서 원자가 아닌 양이온과 전자로 분리된 상태로 존재하는 것을 말한다.

참고 자료

없음
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