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기계공학응용실험 MEMS(Micro Electro Mechanical System) 예비보고서 (2)

저작시기 2011.09 |등록일 2012.01.10 한글파일한컴오피스 (hwp) | 7페이지 | 가격 500원

소개글

기계공학응용실험 예비보고서

목차

없음

본문내용

① 마이크로 머시닝의 필요성 및 응용에 관하여 기술하시오
⑴ 마이크로 머시닝의 필요성
마이크로 금형 등의 부품 제작에 있어서 반도체 공정 기술은 재료의 재질 및 두께의 한계에 따라 3차원적인 구조물의 제작에 제한을 받게 된다. 사실 마이크로 머시닝과 관련한 연구자들은 경쟁적으로 더욱 작고 더욱 일체형의 부품화에 역점을 두었다. 그러나 MEMS 기술에 의한 수십 내지 수백 마이크로미터급 의 초소형 마이크로 모터는 학문적 차원에서의 상징적인 성과로써 의미를 부여할 수는 있으나, 유효한 출력 및 내구성을 얻을 수 없을 뿐만 아니라 조립 기술 상의 어려움으로 기존의 부품들과의 인터페이스가 불가능하여 실제적인 활용 측면에서는 향후 지속적인 노력이 필요하다. 이러한 측면에서 현재까지 축적된 MEMS 기술을 응용하기 위해서도 마이크로 머시닝의 기술개발은 반드시 필요하다고 할 수 있다.

⑵ 마이크로 머시닝의 응용 분야
압력센서, 가속도 센서, 유량 센서등 자동차 부품으로 사용되는 마이크로 센서들을 비롯하여 마이크로 기어, 마이크로 모터 집게 등 미세한 기계구조물들을 구동시키는 마이크로 액츄에이터등을 기본적으로 들수있다. 그리고 의료 분야 에서는 적용분야가 증가하는 추세를 보이고 있는데 세포조작, 생체 내 진단 및 수술, 인공 장기등의 의료기기에의 응용이 그 예들이다.

1. 자동차 분야

1970년대의 석유 파동이후 미국에서는 자동차 연비를 높이는 장기계획을 세우고 미국 내에서 판매되는 모든 차량에 대해 연비와 배기가스에 대한 규칙을 강화하기 시작하였다. 이러한 요구에 부응하기 위해 자동차의 공기 대 연료비의 비율을 최적화하기 위한 압력센서에 대한 개발이 미국의 3대 자동차회사에서 시작되었다. 그중 GM사의 자회사인 Delco 전기회사는 최초로 양산체제로 저가의 압력센서를 제작하기 시작했고 현재는 자동차에 장착하는 압력센서를 매년 100만개 이상을 생산하는 세계 최대의 실리콘 압력센서 생산업체가 되었다. 포드사와 클라이슬러사도 자체내의 압력센서를 개발하고 있으며 현재 세계 전체로 볼 때 매년 2천 5백만 개의 신호변환회로가 집적되어 패키지된 연지조절 압력센서가 개당 10불의 가격으로 생산되고 있다. 압력센서의 용도는 앞으로도 자동차산업에서 배기가스으 조절과 관련하여 연료, 오일, 수압, 공기 흡입량 조절 등에 이용될 수 있고 20세기 말경에는 자동차 산업분야에서만 5억불정도의 시장 규모를 예상하고 있다.

참고 자료

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