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Wet and Dry etching Technology

저작시기 2011.10 |등록일 2011.11.27 파일확장자어도비 PDF (pdf) | 4페이지 | 가격 300원

소개글

Wet etching과 dry etching의 공통점과 차이점을 저널 형식으로 정리해 놓았습니다.
영문으로 작성하였으니, 영문작성 필요하신 분만 구입하세요.
한글 아닙니다.

목차

Title : Wet and Dry etching Technology of Bulk-micromachining

Ⅰ. Introduction
Ⅱ. Etching
1.Etching parameters
2.Wet Etching
3.Dry Etching
Ⅲ. Differences
Ⅳ. Summary
References

본문내용

Ⅰ. Introduction

MEMS(Micro-Electric Mechanical System) is a field of implementation and application of new system that include and combine to manufacture subminiature electric mechanical devices by manufacturing-process for semiconductor.


<중 략>

참고 자료

Applied Physics by E. Chen
by Jin-Sung Cheo
from Connections by Andrew R.
Barron.
By Duan, Xuefeng, McGill University
[6] By Andreou and J. Wang
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