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AES(Auger Electron Spectroscopy)의 원리와 구성

저작시기 2010.10 |등록일 2011.01.22 한글파일한글 (hwp) | 5페이지 | 가격 1,000원

소개글

AES(Auger Electron Spectroscopy)의 원리와 구성에 관한 레포트

목차

AES(Auger Electron Spectroscopy)
(1) 기본원리
(2) AES/SAM의 구조
1. Electron Gun
2. Energy Analyzer
3. UHV chamber (10-10 torr)
4. Ion gun
(3) AES분석의 종류
1. Auger Image Mapping
2. Auger Spectra
1)정성 분석
2)정량 분석
3. Auger Point Analysis
4. Auger Line Scan
5. 수직분포 분석(Depth Profiling)
1)기기적 인자
2)Sample의 특성에 따른 요인
(4) 충전효과(charging effect)
1. 충전효과의 제거방법은
(5) 주요 적용 범위
(6) 시료 준비
(7) 장점과 단점

본문내용

AES(Auger Electron Spectroscopy)
(1) 기본원리
AES/SAM(Auger Electron Spectroscopy /Scanning Auger Microscopy)은 수 백 Angstrom 크기로 집속된 전자 빔을 재료의 표면에 입사시켜 방출되는 Auger 전자의 에너지를 측정하여 재료 표면을 구성하고 있는 원소의 종류 및 양을 분석해내는 표면 분석 장비이다. 재료의 표면에 입사된 전자는 재료를 구성하고 있는 원자들을 이온화 및 여기시키면서 에너지를 잃고 멈추게 되는데 이 과정에서 형성되는 excitation volume은 직경 1-2㎛에 달하게 되며 그 안에서는 Auger 전자를 포함한 2차 전자 및 X-ray가 발생하게 된다. 투과 거리가 긴 X-ray의 경우, 표면 이하 깊은 곳에서 발생해도 초기의 에너지를 잃지 않고 표면 밖으로 나

(2) AES/SAM의 구조
AES/SAM 장치는 4부분, 즉 primary beam으로 사용되는 electron gun, sample에서 방출되는 전자의 에너지 스펙트럼을 측정하는 electron energy analyser, sample의 표면 cleaning 이나 depth profiling을 위한 ion gun 및 sample manipulator로 나눌 수 있는데 이들은 분석 중

석의 3대 기종이라 일컬어지는 AES, XPS, SIMS 중에서도 가장 널리 사용되고 있는 표면 분석 장비가 되었다.
1. Electron Gun
Filament의 종류 : W, LaB6, Field emission filament
2. Energy Analyzer

참고 자료

기기분석의 원리와 응용/박면용/녹문당
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