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Sputter 장비 매뉴얼

저작시기 2011.01 |등록일 2011.01.17 한글파일한글 (hwp) | 1페이지 | 가격 500원

소개글

Sputter 장비의 매뉴얼 입니다.

목차

없음

본문내용

Sputter
1. R.V, M.V가 잠겨있는지 확인.
2. H.L.V Open (Purge)
3. N2 Bomb Valve Open → Gauge A 확인 → 5.6.정도 되면 N2 Bomb Valve Close
4. Door를 길게 눌러 Chamber Open
5. Main shutter Open
6. Substrate holder를 꺼내서 메탄올로 닦기
7. 시료장착

이하생략
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