검색어 입력폼

FED 구동원리 및 제조 공정

저작시기 2010.03 |등록일 2010.04.04 파워포인트파일MS 파워포인트 (pptx) | 14페이지 | 가격 1,200원

소개글

FED 구동원리 및 제조공정

목차

진공관의 원리

FED 구동원리

실리콘 팁 제조 공정

금속 팁 제조 공정

패키징 제조 공정

스페이서, 게터

본문내용

진공관의 원리

마이크로 진공 3극관으로 열음극 진공관과 비교할 때 1/10,000로 규모가 축소

진공 마이크로 일렉트로닉스

전자총,마이크로웨이브 발생기 및 증폭기, 이온원 전자선리소그래피 등에 쓰임

FED 구동원리(1)

게이트와 캐소드의 양단에 일정한 고전압이 인가되면 게이트와 팁의 강한 전계가 형성

전자는 CRT의 열전자가 아닌 X-Y의 매트릭스로 구성된 미세팁으로부터 전계방출에 의하여 나오는 냉전자
다운로드 맨위로