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SEM(원리,구성)

저작시기 2009.12 |등록일 2010.01.12 한글파일한글 (hwp) | 4페이지 | 가격 1,000원

소개글

SEM의 원리와 구성에 관하여 쓴 레포트

목차

(1) Gun+filament
1)열전자 방사형 전자총
2)전계 방사형 전자총 (FE E.Gun)
(2) Lens
(3) Detector
(4) 전자가 sample과 충돌하였을 때 일어나는 현상(X-ray, Auger E etc)
Referece

본문내용

(1) Gun+filament
전자총은 열전자 방사형 전자총과 전계방사형 전자총으로 크게 나눌 수 있다.
1)열전자 방사형 전자총
열전자 방사형 전자총의 구조는 왼쪽 아래 그림과 같다. 열전자를 방출시키기 위해 가열된 캐소드와 발산하고자 하는 전자를 집속시켜 제어하는 Wehnelt cylinder, 집속된 전자선을 가속시키기 위한 가속전극으로 구성되어 있다. 각부의 전위는 그림과 같이 접지전위의 Anode plate에 대해 필라멘트에는 (-)전압(이것이 전자선의 가속전
(4) 전자가 sample과 충돌하였을 때 일어나는 현상(X-ray, Auger E etc)
20∼30keV의 에너지를 갖고 시료에 입사된 전자빔은 시료의 원자와 탄성, 비탄성 충돌을 하며, 2차 전자, 후방산란 전자, X선 및 가시광선과 같은 신호를 발생시킨다. 이 신호들은 각각에 해당하는 검출기로



(4) 전자가 sample과 충돌하였을 때 일어나는 현상(X-ray, Auger E etc)
20∼30keV의 에너지를 갖고 시료에 입사된 전자빔은 시료의 원자와 탄성, 비탄성 충돌을 하며, 2차 전자, 후방산란 전자, X선 및 가시광선과 같은 신호를 발생시킨다. 이 신호들은 각각에 해당하는 검출기로 측정되어 영상화가 가능하고 화학조성 등의 정보를 제공하는 분석원이 된다. 시료의 표면으로부터 방출되는 전자의 에너지 스펙트럼은 세 영역으로 구분되는데, 50eV이하의 에너지에서는 매우 큰 강도를 가지며, 에너지가 증가할수록 아주 작은 값을 보이다가 1차 전자의 에너지에 가까워지면 다시 강도가 증가한다. 100eV이하의 전자를 흔히 2차 전자라 부르는데 이들은 1차 전자에 의해 원자로부터 이온화된 전자들로 시편의 외부로 탈출된 것들이 검출된 것이다. 시료의 표면으로부터 반사(혹은 산란)되어 다시 시료의 표면 밖으로 방출되는 1차 전자들을 후방산란 전자라

참고 자료

주사현미경의 기초/황인옥/반도출판사 3~28P
투과전자현미경학 개론/성창모/반도출판사 10~20P
Physical metallurgy principles/Robert E. Reed-Hill,Reza Abbaschan/Cengoge learning
http://gongdong.andong.ac.kr/down/em/2008-1/8.ppt
http://user.dankook.ac.kr/~enerdine/sem.htm
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