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진공증착

저작시기 2009.06 |등록일 2009.06.02 한글파일한컴오피스 (hwp) | 20페이지 | 가격 900원

소개글

2. 실험 목적
진공증차그이 원ㅇ리를 알아보고 프로그램을 이용하여 박막을 설계를 한 후 실재로 무반사 박막계를 제작, 측정하여 프로그래밍한 값과 비교 분석하여 본다.

목차

1. 실험 제목
2. 실험 목적
3. 실험 이론
4. 실험 장비
5. 실험 방법

본문내용

1. 실험 제목
진공 증착

2. 실험 목적
진공증착의 원ㅇ리를 알아보고 프로그램을 이용하여 박막을 설계를 한 후 실재 로 무반사 박막계를 제작. 측정하여 프로그래밍한 값과 비교 분석하여 본다.

3. 실험 이론

증착코팅의 기원
증착 거울 코팅은 Pole와 Pringshen에 의해 1912년에 시도되었다. 그러나 더욱 효과적인 진공펌프 그리고 증착원을 위한 성분에 열을 가하는 텅스텐이 개발되었을 때인 1930년대까지 고밀도 증착기술은 거울 코팅을 만들어 태가우한 실제적인 방법이었다. 금속 필름을 반사하는 고밀도의 증착을 위한 만족적 기술의 진전을 향한 공헌은 Ritschl, Strong, Cartwright, William 그리고 Auwaeter에 의해 1930~1937년 사이에 있었다. 이 기간의 가장 중요한 진전은 순수하게 증착된 알루미늄 필름을 만들어 낸 실제적인 방법인 Strong의 발견이었다. 그리고 그것은 요사이 전면 거울 코팅을 위해 가장 광범위하게 사용된다. 거울의 유용함을 크게 증가시켰던 그런 더욱 최근의 진보는 거울 코팅, 선택적 반사 필터 거울 그리고 진공 자외선에서 크게 증가된 반사율의 반사 코팅의 발견의 반사율 증가면 필름, 그릭 보호층 개발이었다.

진공 증착
진공 증착이란 진공 중에서 금속이나 화합물을 증발시켜, 증발원과 마주 보고 있는 기판의 표면에 박막을 만드는 것을 말한다.
금속이나 화합물이 증발할 만큼 고온으로 하면, 대기 중에서는 산화나 원하지 않는 반응이 일어나기 때문에, 그것을 억제하기 위해 진공이 필요하다. 또한 금속 등이 증발할 때 공간에 있는 가스 분자와 충돌하면 상대 표면에 직접 도달하지 않기 때문에 자유 공간을 확보하기 위해 진공이 필요하다. 반대로 질소가스 등을 진공 용기에 약간 도입하여 공간에 질소 플라즈마를 만들어 증기로 된 티타늄 등 금속 원장에 반응시키고, 기판에 증발원에 대하여 양의 고전압을 걸어 질화티타늄 등의 이온으로 증착시키는 반응성 진공증착으로 강한 박막

참고 자료

없음
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