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[TEM] 투과전자현미경(TEM, Transmission Electron Microscope)

저작시기 2008.06 |등록일 2008.06.18 한글파일한컴오피스 (hwp) | 14페이지 | 가격 800원

소개글

TEM(Transmission Electron Microscope)에 관한 A+ 맞은 레포트입니다.

목차

1. TEM이란?

2. TEM의 발전역사

3. TEM의 원리 및 분류
1) 기본원리
2) TEM의 분류

4. 가속전자와 시료의 반응
1) 원자핵과의 반응
2) 전자각과의 반응

5. TEM 기기 구성

6. 렌즈작용과 TEM 영상
1) 렌즈작용과 Abbe 영상
2) TEM의 분해능

8. TEM의 영상모드
1) 명시야상 (BFI: Bright field image)
2) 암시야상 (DFI: dark field image)
3) 회절 모드

9. TEM을 분석하기 위한 시료 전처리 방법
1) 평면 시료, 다층 박막 및 경질 덩어리 시료
2) 분말 시료
3) 연질 덩어리 시료

10. TEM  분석

11. 투과 전자현미경과 주사전자 현미경의 비교

본문내용

TEM이란, 관찰하고자 하는 시편의 파장보다 파장이 훨씬 작은 가속전자를 발생시켜 전자 렌즈계를 거쳐 시편에 투과시키면 결정면이나 결함 등에 따라 투과할 수 있는 전자빔의 강도가 달라진다. 이 때 투과된 전자빔의 강도 차에 의해서 형광 스크린 상에 명암이 발생하여 시편의 영상을 얻는 것이다. 또한 시료에 도달하는 전자선을 회절시켜 회절상을 얻을 수 있으므로 원소내부의 정보도 얻을 수 있다.
TEM은 생물, 의학, 재료 등 거의 모든 자연과학과 기술의 연구에서 필수적인 도구로 활용되고 있는 데, 이는 전자현미경의 해상력이 뛰어나서 미시적인 내부구조를 고배율로 확대하여 직접 관찰할 수 있고 마이크론 이하의 국부적인 영역의 화학조성까지도 정확하게 분석할 수 있기 때문이다. 재료의 모든 물리, 화학적인 성질은 미세조직과 직접적으로 연관되어 있어서 조직을 구성하고 있는 각종 상과 결함의 종류와 밀도, 형상과 크기 및 분포, 화학조성 그리고 국부적인 편석 등에 대한 정확한 계측을 필요로 한다. 물질의 미세조직과 관련하여 고분해능(High Resolution) 투과전자현미경(HRTEM)으로는 원자크기 정도의 미세조직과 약 1,000nm3 이하의 작은 부피를 구성하고 있는 미세조직 구성성분에 대하여 구조와 화학성분을 정량화할 수 있다. 특히 지난 20여년에 걸쳐 이 재료 과학의 발전과 다양한 종류의 산소재의 개발에는 투과전자현미경의 역할이 매우 컸다고 말할 수 있다.

2. TEM의 발전역사
투과현미경(TEM)의 발전은 입자물리와 전자기학의 발전과 그 궤를 같이 한다. TEM의 근원은 1929년 독일의 Ernst Ruska가 음극관의 연구 중에 직경 0.3mm인 양극 조리개의 영상을 확대시킨 실험에 있다. 이 성과는 초점거리가 작은 전자기 렌즈를 고안할 수 있었기 때문인데, 1925년에 de Broglie의 입자파동이론을 이해하지 못한 채 전자빔으로 물체의 영상을 확대시킬 수 있음을 증명해준 획기적인 사건이었다.

참고 자료

없음
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