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유전체 특론

저작시기 2007.11 |등록일 2008.03.29 한글파일한글 (hwp) | 3페이지 | 가격 1,800원

소개글

Pentacene OTFTs with PVA Gate Insulator
on a Flexible Substrate

목차

1, Introduction
2. Experimental Procedures
3. Results and Discussion
4. Conclusions

본문내용

1, Introduction

모든 폴리머 유기 박막 트랜지스터(OTFT)는 낮은 가격과 기판의 유연한 특성을 가진 안정성으로써 그 본래의 장점이 더욱 연구되어 왔다. 그러나 기존의 glass나 Si을 기판을 이용한 OTFT특성에 비해 휘어지는 특성을 가지는 OTFT 소자의 특성이 떨어지는 것이 사실이다. 이 단점을 극복하려면 휘어지는 특성에서 높은 breakdown voltage와 좋은 수분 저항성, 높은 유전율, 그리고 active 층의 표면 정렬 효과 등이 향상되어야 한다. PVA는 좋은 유전체 물질로써 높은 유전 상수값을 가지며 solvent에 의한 damage 저항성이 좋으며 감광반응효과가 있다. 이러한 이점에도 불구하고 PVA는 수분 흡수가 쉬워 공정 후 소자 특성이 급격히 떨어지는 결점이 있다. 본 실험에서는 수분 흡수를 줄이는 방법을 연구하고 교차결합(cross-linked) PVA gate 절연층에서의 특성, 그리고 cross-linked PVA 층위에 PMMA buffer layer를 코팅할 때 소자 특성을 분석하였다.

2. Experimental Procedures

그림 1. OTFT 소자 구조 단면도

3 × 3 cm 크기 PET 기판 위에 두께 150nm Al 전극을 shadow mask를 이용하여 증착 한다.
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