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[SEM] 주사전자현미경 (Scanning Electron Microscope)

저작시기 2008.02 |등록일 2008.03.18 한글파일한글 (hwp) | 10페이지 | 가격 800원

소개글

SEM(Scanning Electron Microscope) 에 대한 A+받은 레포트입니다.

목차

1. SEM이란?

2. SEM의 역사

3. 원리
1) 2차 전자의 발생
2) 2차 전자 detector

4. 특징

5. 용도

6. 투과 전자현미경과 주사전자 현미경의 비교
1) 광학 현미경과 전자현미경의 비교

7. SEM의 구조
1) 전자선과 시료와의 관계
2) 배율 결정
3) 진공계
4) 전자 광학계
5) 전자 회로계

8. EDS (Energy Dispersive X-ray Microanalysis)를 이용한 원소 분석

본문내용

전자현미경이란, 광학현미경이 공선 대신에 전자빔을,광학렌즈 대신에 전자렌즈를 사용하여 물체의 확대상을 결상시켜 관찰하는 현미경을 말한다.
광학현미경의 분해능이 빛의 파장에 의해 제한되는데 비해, 전바빔의 파장은 0.05 옹스트롬 정도로 짧아서 광학현미경으로는 관찰할 수 없었던 미생물까지도 선명하게 관찰할 수 있고, 또한 자연상태에서 생물체의 미세구조를 가능한 형태학적 변화가 없는 상태로 입체적 구조를 관찰할 수 있다.
전자현미경은 거의 빛의 속도로 이동하는 전자의 파동성을 이용한 전자가속기로서 전자빔을 전자기렌즈를 이용하여 촛점을 형성한다. 가속전압은 대개 60-100 keV이고 illumination source로서는 텅스텐으로 만든 filament를 사용하는데, 이를 전자총이라고 부른다. 전자총에 고전압이 걸리면 filament가 2700 K 까지 온도가 올라가서 filament의 끝부분에서 열전자를 방출하게 된다. 이 방출된 열전자 혹은 전계전자들은 집광렌즈에 의해서 모아지고 대물렌즈에 의해서 시편의 표면에 초점이 형성된 다음 주사 시스템의 electromagnetic deflection coil에 의해서 시표의 표면을 훑게 된다. 입사빔이 시편에 충돌하면 시편에서는 2차 전자들이 방출되는데, 이 2차 전자들이 닿으면 빛을 방출하는 scintillation counter에 모아지고 이 빛의 신호들이 photomultiplier에 의해 증폭된 다음 확대된 영상을 스크린 혹은 CRT에 보여주게 된다.
렌즈 시스템과 시편은 세로로 된 원통형의 column 속에 위치하게 되고 내부는 진공에 가깝게 유지된다. 진공을 유지시키는 이유는 전자들이 filament 에서 나와 시편에 이를 때 까지 공기 중의 분자들과 충돌하여 진로를 잃는 것을 방지하기 위해서 이다. 전자들이 10-4 torr정도의 진공에서는 mean free path가 약 125cm에 불과하기 때문에 약 10-7 torr이상의 고진공이 필요하다.
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