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[공학] SEM의 원리 및 구조

저작시기 2008.02 |등록일 2008.02.13 파워포인트파일MS 파워포인트 (ppt) | 14페이지 | 가격 1,500원

소개글

[공학] SEM의 원리 및 구조에 대한 ppt 발표자료로 준비한 것입니다.
조금이나마 보시는 분들께 도움이 됐으면 ^^

목차

역사
발달
원리
구조
특징
이용분야 및 용도
관찰영상

본문내용

*전자현미경(EM)의 발달
-루스카
1928년 가시광선보다 파장이 짧은 전자 파 투과를 이용한 물체 관찰 가정 세움
1931년 전자파로 물체를 관찰할 수 있는 장치를 만들어 전자현미경이라고 명명
1939 실용화 모델 개발
-SEM의 발달
1938년 Von Arddenne에 의해 만들어짐(몇 개의 SEM이 실험용으로 제작)
1942년(Zwory Kin el al)에 주사전자현미경을 이용한 몇 편의 논문이 나옴
1940년대 중반 및 말기에 주로 SEM의 개발에 많은 노력을 기울임
1965년 Oatley에 의해 영국에서 처음으로 상품화된 주사전자현미경이 만들어짐
현재 여러 가지 형태의 주사전자현미경이 개발되어 시판
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