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[공학기술]Mems type acceleration sensor

저작시기 2007.01 |등록일 2007.06.06 한글파일한글 (hwp) | 10페이지 | 가격 1,500원

소개글

현재 가속도센서의 시장규모는 계속해서 성장하고 있다. 앞으로 자동차산업, 의료산업, 화학산업, 우주항공 및 조선산업, 군수산업, 정보통신산업, 가전 및 기타산업 전 분야에 있어서 그 시스템 의 제어 및 모니터링이 필요한 모든 곳에서 그 시스템의 상태인식을 위해 사용되어지고, 거의 모든 업체에서 응용될 수 있을 것이다.

목차

1. 서 론
1-1. 필요성
1-2. 가속도센서의 종류
1-3. 가속도센서 시장규모
2. 본 론
2-1. 용량형 MEM-type accerleration sensor
2-1. 주요 공정
2-2. 관련 재료
2-3. 공정완료후의 모습
3. 요 약
Reference

본문내용

1-1. 필요성
가속도 센서는 의학용 혈압센서, 자동차용 압력센서나 가속도 센서, 공업적인 압력센서나 유량 센서, 광센서 등으로 활용되고 있는데 현재까지의 응용범위는 대략 다음과 같다.
(1) 광센서
(2) 자동차 분야
(3) 의료 및 환경분야
(4) 정보 통신 분야
(5) 컴퓨터 / OA 기기 분야
(6) 전자 가전 및 설비 분야

1-2. 가속도센서의 종류
가속도 센서는 범위검출방식에 따라서 압저항형, 압전형, 터널링형, 용량형이 있다. 이중에 용량형은 MEMS 가속도센서의 대부분을 차지한다. 이런 용량형의 특징은 온도에 의한 특성 변화가 매우 적고, DC 성분 계측제어가 용이하며, 구조적으로 간단하기 때문에 제작 공정이 단순해진다는 장점이 있다. 특히 회로부와 집적이 가능하기 때문에 on-chip형태로 구현이 가능하다. 그러나 기생용량의 영향을 크게 받기 때문에 two-chip으로 구현이 어렵고, 기본적으로 용량 변화를 측정할 때 가해지는 전압이 정전력으로 작용하여 새로운 오차 원인으로 가해지는 문제가 있다.

참고 자료

1. http://www.freepatentsonline.com/7148436.html
2. http://www.mew.co.jp/ac/e/tech/pimites/explan_tech/operation_censor_001
3. http://www. sciencedirect.com doi:10.1016/S0038-1101(02)00220-4
4. 특허 : 출원번호 10-2003-7002105 (박막구조체 및 그 제조방법과 가속도센서 및 그 제조방법)
5. 특허 : 출원번호 10-2003-7002466 (가속도센서 및 그 제조방법)
6. 특허 : 출원번호 10-2007-7002397 (MEMS 및 수동 구성요소를 포함하는 장치 및 그 형성방법과, 무선 장치)
7. http://blog.empas.com/chgchang/7459231
8. http://blog.naver.com/ioyou64?Redirect=Log&logNo=130004680693
9. 특허 : 출원번호 10-2006-0027172 (반도체 가속도 센서 장치 및 그 제조 방법)
10. http://microsystem.re.kr/html/menu5.html
11. http://www.analog.com/en/content/0,2886,999%255f1119%255f7537,00.html
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