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sem

저작시기 2007.04 |등록일 2007.05.30 파워포인트파일MS 파워포인트 (ppt) | 10페이지 | 가격 700원

소개글

sem에 대해 간단하게 설명한 ppt 자료입니다.

목차

1. History
2. SEM이란?
3. 작동원리
4. SEM의 구성요소
5. SEM의 특징
6. 주사전자 현미경과 광학 현미경 비교

본문내용

SEM
1. History
1897년 J.J. Thomson : 전자발견(노벨 물리학상 수상)
1924년 de Broglie : 전자가 빛과 같은 파동성이 있음을 입증
(프랑스) 노벨물리학상 수상
1926년 Busch : 전자렌즈 발명
1935년 M. Knoll : 주사전자현미경의 원리 발표(독일)
1938년 CM. von Ardenne : 주사전자현미경 제작(독일)
1961년 K.C.A. Smith : 2차 전자검출기 적용시킴, 분해능 향상
1964년 영국(캠브리지회사): 주사전자현미경 상품화 함 일본(일본광학회사)
2. SEM이란?
Scanning Electron Microscope : 주사전자현미경
→광학현미경의 광선 대신에 전자빔,
광학렌즈 대신에 전자렌즈를 사용하여
형광면 위에 물체의 확대상을 결상시켜
관찰하는 현미경.
3. 작동원리
첫 번째 집광렌즈
집광조리개
두 번째 집광렌즈
대물조리개
Scan coils
Sample
대물렌즈
Bi-Sr-Ca-Cu-O 고온 초전도체 system에서
발견되는 불순물상
Secondary Electron Image
Back-scattered Electron Image
Bi-원소에 대한
X-ray dot mapping
4. SEM의 구성요소
1. Vacuum system - Remove air molecules
→Mechanical pumps와 oil diffusion pumps로 구성
→고에너지 입사 전자나 시편에서 방출되는 2차전자들과의 충돌을 방지하도록 column내의 공기를 빼내는 것이다.
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