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[공학]진공과학, 플라즈마, CVD, 스퍼터링, 진공증착

저작시기 2007.01 |등록일 2007.04.17 한글파일한컴오피스 (hwp) | 10페이지 | 가격 1,100원

소개글

진공과학,진공펌프,플라즈마, CVD, 스퍼터링, 진공증착 관련한 레포트 입니다.

목차

1. 진공 [眞空, vacuum] 이란??
2. 진공펌프
3. 현대 물리학에서의 진공
4. 진공의 응용

본문내용

1. 진공 [眞空, vacuum] 이란??
간단히 말해서 진공은 물질이 전혀 존재하지 않는 공간이라고 할 수 있다.
실제로는 완전한 진공을 만들기가 매우 어렵기 때문에 보통 1/1000(10-3)㎜Hg 정도 이하의 저압을 진공이라 한다. 진공으로 만든 용기 내에 남아 있는 기체의 압력을 그때의 진공도라 한다. 진공전구의 진공도는 10-2∼10-5㎜Hg, 수신용 진공관은 10-4∼10-6㎜Hg, TV 브라운관은 10-6㎜Hg 정도이다. 현재 인공적으로 도달할 수 있는 최고진공도는 10-12㎜Hg 정도인데, 이때에도 1㎤당 약 3만 5000개나 되는 기체분자가 남아 있다고 한다.
진공펌프를 사용해서 용기 속의 기체분자를 뽑아내어 진공을 얻는다. 진공도를 유지하기 위해서는 진공펌프를 계속 동작시키면서 작업하는 진공건조기와 같은 조립장치나, 전구·진공관처럼 배기 후에 용기를 밀봉하는 방법 등을 이용한다.
예를 들면 조립장치 용기로는 금속제품을 사용하는데, 접합부에는 기체가 방출하기 쉬운 고무 등은 사용할 수 없다. 진공관 내에 봉입한 전극 등 금속부분은 배기하면서 빨갛게 달군 상태에서 기체를 사전에 방출하는 작업을 한다. 관 내부에는 바륨·마그네슘·붉은인 등을 주재료로 하는 금속조각을 증발시킴으로써 관벽에 막을 만들어 전극에서 나오는 기체를 이것에 흡착시킨다.


2. 진공펌프
흡입하는 기체의 압력은 대기압에서 절대진공에 가까운 정도까지 이른다. 형식에 따라서 왕복식·회전식·봉수식·확산식·이젝터식 등이 있다.
왕복식에는 단동진공펌프·자유밸브식 복동진공펌프·미끄럼밸브식 복동진공펌프가 있고, 회전식에는 다익편회전식진공펌프가 있다. 본질적인 작동은 보통의 압축기와 같다.
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