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발광박막의 제조(Fabrication of Light Emitting Thin Films)

저작시기 2007.01 |등록일 2007.03.26 한글파일한컴오피스 (hwp) | 5페이지 | 무료

소개글

직접 제조한 글이라 딴파일이랑 중복가능성은 적습니다.
에이뿔 자료입니다.
시범자료로 무료 ~

목차

실험제목
실험목적
실험이론
실험장치 및 시약
실험방법
추론
참고문헌

본문내용

►진공증착법에의한 박막증착
① 세정된 기판 위에 shadow mask를 씌우고, crucible에 유기물 시료(Alq3, 또는 TPD)를 정량(2.0mg)하여 넣는다.
② Thermal evaporator chamber 안에 ①에서 준비된 기판과 시료를 넣는다.
③ RP(rotary pump)와 DP(diffusion pump)을 사용하여 chamber 내의 진공도를 10-5~10-6 torr로 유지시킨다.
④ 박막증착이 가능한 진공도에 도달하게 되면 power supply에 전원을 넣고, 전류를 가해 발생하는 저항열에 의해 시료(Alq3 또는 TPD)를 승화시켜 기판 위에 박막을 증착시킨다.
⑤ 증착이 완료되면 power supply 및 RP와 DP의 전원 스위치를 내리고, N2 gas를 chamber 내부로 흘려 압력을 외부의 대기압 상태로 만든 후 기판을 꺼낸다.

►Spin coationg에 의한 박막증착
① 유기용제에 증착을 원하는 유기물을 넣고 용액을 만든다.
② Spin coater의 전원을 켜고 덮개를 열어 세정된 기판을 중앙에 올려 놓는다.
③ RP를 사용하여 Spin coater의 회전판과 기판을 밀착시킨다.
④ 증착용액을 기판위에 떨어뜨린 후 회전판을 회전시켜 용액을 도포한다.
⑤ 도포된 용액박막을 oven에 넣어 건조시킨 후 꺼낸다.

►실험중 유의사항
① 청정실 내에서는 오염을 방지하기 위해 항상 지정된 청정실 복장을 착용 하여야 한다.
② 청정실 내에서는 담당조교의 통제 하에서만 움직이며 임의로 장비를 만 지지 않는다.
③ 유기용액은 반드시 hood 안에서 작업한다.
④ 박막 시료의 표면을 손으로 만지지 않는다.

참고 자료

► C.W. Tang, S.A. VanSlyke, Appl. Phys. Lett. 51, 913 (1987).
► C. Adachi, S. Tokito, T. Tsutsui, S. Saito, Jpn. J. Appl. Phys. 27, L269 (1988).
► C.W. Tang, S.A. VanSlyke, C.H. Chen, J. Appl. Phys. 65, 3610 (1989).
► Gerd Mueller eds., "Electroluminescence Ⅰ", Academic Press, (2000).
► Gerd Mueller eds., "Electroluminescence Ⅱ", Academic Press, (2000).
► Donald L. Smith, "Thin-Film Deposition : Principle & Practice", International ed., McGraw-Hill, Singapore, (1997).
► 과학동아 2003년 2월호, 동아사이언스(2003)
► 영남대학교 인터넷 실험교재, http://scet.yu.ac.kr/02-cur/lecture/c04.html
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