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SEM(Scanning Electron Microscope, 전자주사현미경)

저작시기 2006.06 |등록일 2007.01.06 파워포인트파일MS 파워포인트 (ppt) | 22페이지 | 가격 500원

소개글

SEM(Scanning Electron Microscope, 전자주사현미경)의
광학현미경과의 차이 현미경의 원리와 적용등에 대해 나타나 있는
파워포인트 발표 자료입니다.

목차

1.Contents
2.광학현미경 VS SEM
3.SEM Principle
4.Electron gun (광원)
5.Lens ( condenser, objective )
6.Condenser Lens
7.Objective Lens
8.Stigmator coil (비점보정 코일)
9.Scan Coil
10.Detector
11.Aperture
12.Working distance
13.Vacuum
14.Backscattered Electron
15.BSE Detector (Solid static backscattered detector)
16.BSE Detector ( Scintillator detector )
17.Application

본문내용

Stigmator coil (비점보정 코일)
⊙오염물질은 Electron
beam의 형상을 왜곡.

⊙ Stigmator coil에 전류를
주어 비점수차를 발생.
Lens에서 발생하는
비점수차와 상쇄시킴
으로서 비점수차 줄임.

Aperture
⊙Aperture size가 바뀜에
따라서 Beam size, 밝기,
입사각도(a),초첨심도가
변한다.

⊙Aperture size가 작으면
Beam current가 작아져서
구면수차를 감소시킨다.
a의 감소로 초점심도가
커진다

Working distance
⊙Objective lens와
Sample간의 거리


⊙WD가 길어지면 a각이
작아져서 초점심도가
커지지만 해상력은
떨어짐
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