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[공학]evaporation증착

저작시기 2006.01 |등록일 2006.12.11 한글파일한글 (hwp) | 9페이지 | 가격 1,000원

소개글

evaporation증착 실습에 관한 리포트입니다.
이론, 과정, 결과, 고찰순으로 작성되어 있습니다.

목차

1. 실험 제목
2. 실험 목적
3. 실험 이론
4. 실험 방법
5. 실험 결과 및 고찰

본문내용

실제로는 완전한 진공을 만들기가 매우 어렵기 때문에 보통 1/1000()mmHg 정도 이하의 저압을 진공이라 한다. 진공으로 만든 용기 내에 남아 있는 기체의 압력을 그 때의 진공도라 한다. 진공전구의 진공도는 10-2∼10-5㎜Hg, 수신용 진공관은 10-4∼10-6㎜Hg, TV브라운관은 10-6㎜Hg 정도이다. 현재 인공적으로 도달할 수 있는 최고진공도는 10-12㎜Hg 정도인데, 이때에도 1㎤당 약 3만 5000개나 되는 기체 분자가 남아 있다고 한다.
진공펌프를 사용해서 용기 속의 기체분자를 뽑아내어 진공을 얻는다. 진공도를 유지하기 위해서는 진공펌프를 계속 동작시키면서 작업하는 진공건조기와 같은 조립장치나, 전구 ․ 진공관처럼 배기 후에 용기를 밀봉하는 방법 등을 이용한다.
진공을 응용하기 위해서는 지상에 인위적인 진공을 발생시키고 제어해야 한다. 이런 진공기술의 요소는 발생기술 재료기술 가공 및 부품기술 평가 및 제어기술로 대별되며 이 네 가지 요소가 합쳐져서 진공 응용기술이 성립된다.
진공은 전 과학기술 분야와 산업분야에서 진공기술이 응용될 수 있고, 압력차에 의한 힘의 발생 극 청정 환경 제공 단열효과 입자의 장거리 비행가능 증발과 승화작용 안정된 플라즈마를 유지 생화학 반응 억제 우주환경 제공 등의 특성이 있다.
진공기술의 응용범위는 전 산업에 걸쳐 있으며 반도체의 집적도가 높아 지 고 양자소자 개발 등 첨단기술이 발전하면서 그 중요성은 날로 증가하고 있다. 다음은 진공기술이 응용되고 있는 대표적 분야들이다.

2) 증착
증착이란, 고진공에 놓은 용기 속에 피복 될 물체와 그 표면에 부착시키려는 금속 등의 입자를 넣어 둔 다음 히터에 전류를 흘러서 가열함으로써 그 금속입자를 증발시키면 차가운 물체 표면에 응축해서 부착되는 것을 이용하여 표피를 붙이는 방식이다.
모든 물품에 적용될 수 있다는 것이 특색이며 천에 알루미늄을 붙이거나 플라스틱에 은을 붙일 수도 있다. 광학렌즈의 반사방지피막도 플루오르화마그네슘 등을 진공 증착시킨 것이다. 여기서 알 수 있듯이 증착을 위해서는 진공기와 증착될 물질과 증착시킬 물질 - 피증착물, 그리고 target을 가열 할 히터가 구성요소 임을 알 수 있다.
이러한 증착은 크게 두 가지 방식으로 나뉘는데 PVD (물리 기상 증착법)와 CVD (화학 기상 증착법)로 나누어집니다. PVD에는 sputtering, evaporation 등이 있고 CVD에는 thermal CVD, Plasma Enhanced CVD (PECVD) 등이 있다.
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