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TEM 분석

저작시기 2006.01 |등록일 2006.11.19 한글파일한컴오피스 (hwp) | 3페이지 | 가격 500원

소개글

TEM 분석

목차

* 결상(Imaging)
1. 상(Image)
2. 명시야상(Bright Field Image):투과된 전자빔만을 조리개로 선택하여 결상    
3. 암시야상(Dark Field Image): 회절빔 하나만을 조리개로 선택하여 결상 시편 내의 여러
4. 이동조리개 암시야: 간단히 조리개만을 회절 빔으로 이동하여 만든 상 시편 내의 여러
5. 중심 암시야상(Centered Dark Field Image): 입사빔을 기울여 회절빔과 광축이 평행하
6. 약빔 암시야상(Weak Beam Dark Field Image): 입사 빔을 반대로 기울여 2빔 조건에서
7. 고분해능 상(High Resolution Image): 투과빔과 여러개의 회절빔을 선택하여 물체의 위상 정보를 콘트라스트로 결상
8. 격자 줄무늬상(Lattice Fringe Image): 투과빔과 하나의 회절빔을 조리개로 선택하여 결
9. 모아레 줄무늬(Moire Fringe) 상: 격자면의  간섭으로 생긴 줄무늬 상  
10. 상전산모사(Computer Image Simulation): 모델 시편을 사용하여 현미경 조건으로 결

* 회절(Diffraction)
1. 제한시야회절(Selected Area Diffraction, SAD): 상에서 제한시야 조리개를 사용하여
2. 미소빔회절(Micro-Diffraction): 전자 빔의 크기를 줄여 10~100 nm의 미소영역에서 얻
4. 나노 회절(Nano Diffraction): 전자 빔의 크기를 줄여 0.5~5 nm 영역에서 얻는 회절상
5. 키쿠치(Kikuchi) 회절상: 비탄성 산란 전자에 의한 회절상
6. 수렴성 빔 전자회절(Convergent Beam Electron Diffraction, CBED): 전자 빔을 집속렌

* 분광분석(Spectroscopy)
1. EDS(energy dispersive x-ray spectroscopy): 입사된 전자가 시편과 상호작용후 시
2. EELS(electron energy loss spectroscopy): 투과 전자의 에너지를 측정하여 손실 에너

* X-ray Phoelectron Spectroscopy 로 두께 측정하는 법

본문내용

* 결상(Imaging)

1. 상(Image)
시편 내의 여러 미세 형상, 두께, 크기 등을 수A 규모로 육안으로 직접 관찰하여 그 크기 및 분포를 측정

2. 명시야상(Bright Field Image):투과된 전자빔만을 조리개로 선택하여 결상
시편 내의 여러 미세 형상은 물론이고 결정의 크기, 분포, 전위, 적층 결함, 계면, 입계 , 석출물 등의 결함과 석출물의 분포 및 크기를 직접 관찰 전위의 버거스 벡터 및 적층결함의 변위 벡터 각종 특성 규명

3. 암시야상(Dark Field Image): 회절빔 하나만을 조리개로 선택하여 결상 시편 내의 여러 미세 형상은 물론이고 결정의 크기, 분포, 전위, 적층 결함, 계면, 입계 , 석출물 등의 결함과 석출물의 분포 및 크기를 직접 관찰 전위의 버거스 벡터 및 적층결함의 변위 벡터 각종 특성 규명

4. 이동조리개 암시야: 간단히 조리개만을 회절 빔으로 이동하여 만든 상 시편 내의 여러 미세 형상은 물론이고 결정의 크기, 분포, 전위, 적층 결함, 계면, 입계 , 석출물 등의 결함과 석출물의 분포 및 크기를 직접 간단한 방법으로 관찰

5. 중심 암시야상(Centered Dark Field Image): 입사빔을 기울여 회절빔과 광축이 평행하도록하고 조리개를로 회절빔을 선택하여 만든 암시야상
시편 내의 여러 미세 형상은 물론이고 결정의 크기, 분포, 전위, 적층 결함, 계면, 입계 , 석출물 등의 결함과 석출물의 분포 및 크기를 직접 관찰
전위의 버거스 벡터 및 적층결함의 변위 벡터 각종 특성 규명

6. 약빔 암시야상(Weak Beam Dark Field Image): 입사 빔을 반대로 기울여 2빔 조건에서 강하게 보였던 회절 빔이 광축에 평행하도록 하여 조리개로 이 회절빔을 선택하여 얻은 암시야상으로 편차변수가 크다.
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