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[공학]박막 저항 측정 실험 보고서

저작시기 2005.07 | 등록일 2006.03.04 한글파일 한컴오피스 (hwp) | 10페이지 | 가격 900원

소개글

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목차

◈. 실험 목적
◈. 실험 시약 및 도구
◈. 실험 방법
◈. 이론적 배경
◈. 실험결과

본문내용

◈. 실험 목적

1) 수업시간에 배운 이론적 부분을, 실험을 통해서 직접 보고 느끼면서 실험기구나 장비 등을 다루는 요령과 방법을 익히고 이론이 아닌 현장(실험실)에서의 실험을 통해 현 실성을 갖는 것을 실험의 기본적 목적이라고 생각한다.

2) 본 실험에서는 “표면박막저항 측정” 이라는 실험을 진행하였다. 이 실험에 대한 목적 으로는 다음과 같다.

① Sputtering된 박막의 두께에 따른 표면 저항을 알 수 있다.
② 투명전극 재료에 대한 성절을 예상 할 수 있다.
③ 측정된 “저항 값”에 의해 “면 저항 값”을 알 수 있다.


◈. 실험 시약 및 도구

① 시편: 투명전극재료로 박막처리된 5개의 시편
(900~1000Å | 1100Å | 1300Å | 1500Å | 1800Å)
② 표면박막저항 측정기


◈. 실험 방법

① 박막처리된 시편을 순서대로 박막저항기를 통해 면저항을 측정한다.
② 측정 시, 스퍼터링된 부분의 중앙 부분을 측정하도록 한다.
③ 한 개의 시편 당 3번씩 측정한다.(조별적)


◈. 이론적 배경

① Four Point Probe (표면박막저항측정기) 란

※ Four point probe는 안쪽 두 점 사이의 전압과 바깥쪽 두 점 사이의 전류를 측정하 여 박막 (thin layer) 및 시트 (sheet)의 저항치를 측정하는 계측기이다.

② 용어설명
1). 표면저항 (ohm/sq = Ω/□ = Sheet resistance)
※표면저항은 보통 단위 ohm/sq로 표시된다. 일반적인 선저항은 두개의 probe로 임 의의 거리에 대한 저항을 측정하지만, 표면저항의 경우에는 동일한 간격의 4개탐침 으로 측정하게 된다.
이때 쓰이는 Probe가 Four point probe이다. 보통 탐침은 1mm간격으로 일렬로

참고 자료

영화의 이해 http://mybox.happycampus.com/kashin100/739158

도가니 제조 보고서 http://mybox.happycampus.com/kashin100/680073

백라이트 실험 http://mybox.happycampus.com/kashin100/1800881

led oled 전류전압곡선 http://mybox.happycampus.com/kashin100/1800875

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