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[플라즈마] 플라즈마 기초

저작시기 2005.06 |등록일 2005.06.24 워드파일MS 워드 (doc) | 7페이지 | 가격 500원

소개글

간단하게 정리한 플라즈마 기초입니다.

목차

1. 플라즈마란?
2. 플라즈마의 생성/구조와 그에 따른 성질
※ 특 성
3. 플라즈마의 성질과 플라즈마 processing
4. DC에서의 플라즈마 / RF에서의 플라즈마
5. 플라즈마의 application
6. 참고문헌

본문내용

1. 플라즈마란?
플라즈마란 Langumuir에 의해 『기체중에 이온과 전자가 동일하게 고밀도로 공유하는 상태』 라고 정의한다.
일반적으로 플라즈마 상태를 만드는 데에는 기체에 에너지를 부여하는 것에 의해 원자와 분자가 이온과 전자로 분리되는 상태로 되는것으로 발생한다.
즉, 이온화와 활성화하는 것으로 된다. 이온화 된 기체는 입자간 상호작용이 활발하게 되고, 광의 방출현상과 높은 에너지가 부여되는현상이 나타난다.
따라서 고체, 액체, 기체라는 3가지 상태에 대하 제 4의 상태라고도일컬어진다.
2. 플라즈마의 생성/구조와 그에 따른 성질
(1) 반 발 : 전자는 약한 운동에너지를 갖고 있으며 이 에너지로는 원자 혹은 분자에 충돌해도 아무런 변화가 없게 된다.
(2) 이온화 : 가속된 자유전자는 원자와 충돌하여 최외각 전자를 튕겨 보냄으로써 이온을 만들고 또 하나의 자유전자를 만듦.
(3) 여기와 반발 : 자유전자나 또는 이온이 다른 원자의 이온화에는 충분하지 않지만 충돌된 원자에 에너지를 공급하여 최외각 전자를 여기시키게 된다.
이 여기된 전자는 다시 안정한 궤도로 돌아오면서 고유의 에너지 간격에 해당하는 빛의 에너지를 발산.

참고 자료

표면공학, 김선규, 두양사, 2003. 3, pp77~111.
- Physics of plasma, American Institute of Physics, American Institute
of Physics, 1994. 1, pp25~33.
- 플라즈마 물리학과 핵융합, 최덕인, 민음사, 1985. 3, pp15~19
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