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[반도체공학]LPE

저작시기 2003.05 | 등록일 2005.04.14 파워포인트파일 MS 파워포인트 (ppt) | 11페이지 | 가격 1,000원

소개글

만든다고 고생한겁니다..
A+ 자료입니다..

목차

1.원리
2.장 단점
3.특징
4.기타

본문내용

L P E 액상에피택시


Liquid Phase Epitaxy의 약자로 액상에피택시라고 합니다.

결정재료가 녹아 있는 포화용액을  기판과 접촉시켜서 결정을 성장시키는 것
 
1963년 Nelson에  의해 최초로  구현된 후,  주로 Si,  GaAs, AlGaAs, GaP 에피택시에 널리 이용되고 있습니다.
Furnace: 열을 조정한다. metal 별로 온도를 올린다.
Quatz tube: 석영유리 튜브, 고진공 유지
Slide: 기판을 장착 시료별로 이동 시킨다.
LPE의 장단점

LPE의 단점
하나의 기판에 한 물질을 성장 시키는 다른 성장법과는 달리 LPE법은 한 기판에 여러 metal을 성장 시키므로 정밀도가 떨어지고 불순물이 많이 생긴다.
또한 가장 큰 단점으로는 대면적화의 한계가 있다는 것이다.

참고 자료

내머리..
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