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[박막공정 졸겔법]Sol-Gel method

저작시기 2004.09 |등록일 2005.01.27 한글파일한컴오피스 (hwp) | 6페이지 | 가격 1,500원

소개글

Sol-Gel method

목차

1. 서론
2. 기본 원리
3. 졸-겔법의 공정도
4. 용액의 제조
1) MOD(Metallo Organic Deposition)법
2) 가수 분해 및 중축합반응
(1) 가수분해반응
(2) 중축합반응
5. 용액의 합성
6. 졸-겔법으로 만들어지는 코팅막
7. 박막의 건조
8. 결론

본문내용

7. 박막의 건조

건조공정은 양질의 막을 얻는데 매우 중요한 공정이다. 코팅을 한 후에는 반드시 건조 공정이 뒤따른다. 건조 공정은 코팅 후 유기 용매 및 잔존 유기물을 연소시켜 날려보내고 최종적으로 무기질 박막을 만드는 공정이다. 건조과정은 졸-겔법을 이용한 박막제조과정의 가장 큰 장애물의 하나로 일반적으로 모세관력의 차이로 인한 균열을 방지하기가 매우 어렵다. 균열이 없는 겔의 건조방법으로서 장시간 건조하거나, 습기 분위기의 조절에 의한 건조 또는 건조조절제(DCCA ; Drying Control Chemical Additive)의 첨가에 의한 기공크기 및 분포의 조절을 유도함으로써 균열을 방지해 보려는 시도 등이 행해지고 있다.

8. 결론

졸-겔법은 다른 박막 증착법에 비하여 비교적 간단한 장치와 낮은 생산비용, 높은 생산성 등의 장점을 보유하고 있다. 졸-겔법에 의한 박막제조가 다른 증착 공정에 비해 뒤지지 않는 특성을 가지며 용액 및 박막의 재현성이 있도록 제조하면 다른 증착에 의한 박막보다 산업에 더욱 실용화하기에 이점을 가지고 있다 이렇게 되기 위해서 졸-겔 박막 공정에 더욱 깊은 관심과 연구 및 이해가 요구된...

참고 자료

1. L.L Hench, Jr. and L.L. Hench, in Ceramic Processing Before Firing (Wiley, New York, 1978).

2. D.W. Johnson, Jr., Am. Ceram. soc. Bell., 64(12) (1985) 1597.

3. R.K. Lker, in Science of Ceramic Chemical Processing, edited by L.L. Hench and D.R. Ulrich(Wiley, New York, 1986).

4. M. Sayer, D.A. Barrow, T.E. petroff and R. Pasual, J. Can. Ceram. Soc. 65[2] (1996) 124.
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