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[재료공학] 전자현미경의 종류

등록일 2004.06.02 한글파일한글 (hwp) | 11페이지 | 가격 1,000원

목차

광학현미경
TEM
EPMA
ESCA
Auger
STM
AFM

본문내용

현대의 반도체 및 극소전자 산업은 점점더 고밀도화와 집적화를 요구하고 있다. 따라서, 크기가 미세해 질수록 이를 측정 분석할 수 있는 기기의 개발이 더욱 증대되어 왔다. 표면현상의 해석에 널리 이용되고 있는 기존의 주사 전자 현미경(SEM)은 최적의 조건일 경우 약 수십 나노미터정도의 해상도를 얻을 수 있으나, 보다 미세한 영역에서의 정보는 제공할 수 없는 단점이 있다. 한편, 전자선을 이용하여 얇은 시료를 투과하는 전자선을 측정하여 상(image)을 얻는 투과 전자 현미경(TEM)의 경우는 Å 정도의 해상도를 얻을 수 있으나, 시편을 준비하는 과정이 까다로우며, 응용범위도 극히 제한되어 있다는 단점이 있다.
STM(Scanning tunneling microscopy)은 기존의 현미경과는 달리 양자역학적 전자 터널링
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