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[재료 공학] 전자현미경(SEM)

등록일 2004.05.15 한글파일한글 (hwp) | 6페이지 | 가격 1,000원

소개글

A++++++자료 입니다.

목차

1.주사 전자 현미경이란?
2.전자현미경의 역사
3.작동원리
4.현미경의 구성
5.시편의 준비

본문내용

광학현미경의 최대 확대배율은 1,500배이다. 이 값 이상은 해상능(Resolution)이라고 하는 렌즈(빛)의 성질에 의해 제한을 받는다. 분해능(Resolution)은 illumination system의 파장, 대안렌즈나 대물렌즈의 numerical aperture(NA)에 의해 결정된다. 이러한 관계는 Abbe에 의하여 수학적으로 R = 0.61 [λ]/NA로서 표시되었다. 따라서 1.4의 numerical aperture를 가진 대물렌즈를 사용하면 가시광선([λ]avg = 550nm)을 사용하는 광학현미경의 경우에는 0.2 ㎛이다.
즉 광학현미경으로는 두 점 사이가 0.2㎛보다 가까운 거리는 구별할 수 없다는 이야기가 된다.

광학현미경의 이러한 단점을 극복하기 위해서 전자현미경이 개발된 것이다. 광학현미경의 작동원리나 한계에 대한 물리적 법칙들이 전자현미경에도 그대로 적용된다. 차이점은 유리렌즈 대신에 전자기렌즈를 사용하는 것과 빛의 파장이 다르다는 것뿐이다. 전자들은 전자기파의 파동성격을 지닌 하전된 입자로서 de Broglie's equation에 따르면 전자빔의 파장은 전자들의 속도에 반비례한다. 전자현미경의 전자총에서 방출된 전자의 속도는 가속전압에 비례하므로 짧은 파장의 전자빔을 이용하여 고배율(90∼800,000배)을 얻을 수 있다.

참고 자료

o http://super.gsnu.ac.kr 국립경상대학교 무기재료공학과 홈페이지
o http://rinnet.icomm.re.kr/~esbyon 한국기계연구원 표면기술연구부 변응선의 홈페이지
o http://www.rkm.com.au/VIRUS/CORONAVIRUS/coronavirus-virion.html (Corona Virus 사진)
o 기기를 이용하는 화학 실험법, 박기채외 4명 공역, 탐구당, 1997.
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