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[박막] 진공 증착법에 의한 박막 제작

등록일 2004.05.15 한글파일한글 (hwp) | 15페이지 | 가격 500원

소개글

참고 하시고 도움이 됐으면 합니다.

목차

1.실험목적
2.실험 기구
3.이론
4. 실험 방법

본문내용

1.실험목적
진공 증착법으로 박막을 직접 제작함으로써, 박막 프로세스에 대한 기초를 습득한다.

2.실험 기구
(1)시료: AL고리,Mo 보트, 슬라이드 글라스, 면도날, 알루미늄 호일 등
(2)세척 기구: 이소프로필 알코올, 아세톤, 증류수 등
(3)진공 장치: 진공조, Rotary vaccum pump, Oil dirrusion pump, 가이슬러 게이지, 이온화 게이지 등
(4)기타: 핀셋, 보관상자, 전원장치 등

3.이론
(1)진공의 개념
①진공의 정의
진공이라고 말하는 것은 개념적으로 공기가 없는 공간이라고 생각되어지지만 실제로는 작업상 지장이 없는 압력상태를 말하는 경우가 많다.
우리가 일상생활을 하고 있는 지구표면의 압력은 질소(N2), 산소(O2), 기타 아르곤, 탄소가
스, 수증기 등의 혼합가스체가 해면상에서 1기압(760Torr)인 상태이다.
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