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[사진공정]사진공정(파워포인트 확실한 자료)

등록일 2004.04.04 파워포인트파일MS 파워포인트 (ppt) | 85페이지 | 가격 1,500원

소개글

전반적인 사진공정
Photo Resist의 특성별 분류
Resolution 향상을 위한 여러가지 방법
차세대 사진공정
3차원 사진공정
Example
등등 일단 받아보세요
정말 좋은 자료이고 열심히 만든겁니다..
일단 확실합니다..받아보세요~ ^^

목차

Photolithograpy overview
Critical Dimension, Overall Resolution
Resist Profile
Resolution in Photolithography
Next-Generation lithography
Emerging Lithography
Example

본문내용

1. Photolithography Overview
Introduction
In the IC industry, pattern transfer from masks onto thin films is accomplished almost exclusively via photolithography

Mask
The stencil used to repeatedly generate a desires pattern on resist- coated wafers is called a mask
Types of MASK
Hard surface MASK
Made by Cr, FeO on glass
Permanence, Expensive
Emulsion MASK
Made by thin gelatin file on thin glass
Semi-Permanence(3 ~ 5 times), Cheapness

참고 자료

Fundamentals of MICROFABRICATION
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