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플라즈마 실험

등록일 2003.12.16 한글파일한글 (hwp) | 7페이지 | 가격 500원

목차

◎ 플라즈마의 정의 및 생성
◎ PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)
◎ a-Si:H 반응 메카니즘
◎ 플라즈마 산업
◎ 마치며

본문내용

기체가 전자와 양이온으로 이온화된 상태로 있으면서 중성원자들 내에서 전자수와 양이온 수가 같아 전체적으로 중성을 띄고 있는 기체를 플라즈마라고 부른다.
플라즈마는 전기장의 형태로 공급되는 에너지로부터 발생되어 이온과 전자의 질량차이에 의해 전자의 에너지가 결정된다. 또한, 플라즈마의 국부에 전기적 중성이라는 조건을 깨고 전자의 부족과 과잉을 만들면 중성으로 돌아가기 위해 플라즈마 진동 (plasma oscillation)을 일으킨다.
에너지를 갖는 전자들은 중성분자 또는 원자와 탄성충돌과 비탄성 충돌을 일으키는데 주로 비탄성 충돌에 의해 플라즈마가 발생된다.
플라즈마를 구성하고 있는 이온-전자쌍들은 전기장에 의해 가속화되어 중성입자의 이온화(ionization)와 전자충격(electron impact)으로 원자의 전자가 높은 에너지 준위를 갖는다.
전자가 양이온과 다시 결합하는 재결합반응(recombination)과 바닥상태로 떨어지면서 광자(photon)를 방출하는 이온(relaxation) 등으로 인하여 다양한 형태의 이온, 중성분자, 광자 그리고 전자 등을 생성한다.
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