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[재료공학] 플라즈마,PVD,박막형성기구

등록일 2002.11.27 한글파일한컴오피스 (hwp) | 6페이지 | 가격 1,000원

목차

1. 플라즈마
♣ 플라즈마의 생성 방법
♣ 플라즈마의 물성
♣ 플라즈마의 응용분야

2. 물리증착(PVD)
⊙ PVD증착법의 종류와 특징

3. 박막 형성 기구

본문내용

1. 플라즈마
온도를 차차 올려 줌에 따라서 물질 상태는 고체에서 액체로, 또 액체에서 기체로 변한다. 이 기체에 계속 열을 가하여 주어 수천도(℃)가 되면 기체분자는 원자로 해리되고 또다시 전자와 양전하를 가진 이온으로 전리된다. 이와 같이 고온에서 전자와 이온으로 분리된 기체로서 그 전리도가 남은 중성원자에 비해 상당히 높으면서도 전체적으로는 음과 양의 전하수가 거의 같아서 중성을 띠고 있는 기체를 플라즈마라고 부른다. 우리 주변에서 쉽게 관찰할 수 있는 플라즈마 현상으로는 형광등, 네온싸인, 아크 용접기 등을 꼽을 수 있으며 근래에 와서는 고속 절단기, 플라즈마 jet 등이 개발되었다.
♣ 플라즈마의 생성 방법
플라즈마는 원자를 이온화 시켜야 하며, 이온화 에너지가 낮은 Alkali 금속인 경우에도 온도가 4만도 이상이 필요하다. 따라서 1000-3000K의 온도를 갖는 화염은 매우 전리도가 낮아 플라즈마라고 부르기 어려우며, 대부분 전기적으로 직류방전, 수백 KHz-수GHz의 고주파를 사용하는 고주파 방전 및 강한 레이저나 입자빔을 조사하여 만들게 된다. 대부분의 경우 진공용기에 기체를 채우고 저압에서 (수 mTorr-수백 Torr) 전자파나 입자빔을 인가하여 만들게 되며, 사용되는 기체의 종류에 따른 고유한 빛을 방출하게 된다.
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