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집적회로 종류와 공정

등록일 2001.10.08 한글파일한글 (hwp) | 10페이지 | 가격 300원

목차

1. 집적회로의 종류와 특징
2. 집적회로의 제조공정
3. IC 각 종류의 제조공정
① monolithic IC의 제조공정
② MOS IC
③ LSI
④ NMOS 기술外

본문내용

(1) 고순도 Si결정체의 제조
Si를 트랜지스터나 집적 회로의 재료로 사용하는 데에는 그 순도를 높이고 더욱 단결정화 하여야 한다. 먼저 화학적인 정제를 거쳐 어느 정도 순도를 높인 Si를 물리적인 정제법인 대역용융법에 의해 더욱 순도를 높인다. Si에서는 12나인이라고 부르는 고순도(99.999 999 999 9%)로 하지 않으면 안 된다. 화학적 정제로는 겨우 5나인 정도의 순도밖에 얻지 못한다.

참고 자료

『집적회로 반도체 소자와 공정』
양호언 『物理電子工學』
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